微型真空泵，簡單來說就是指具備一進一出的抽氣嘴、排氣嘴各一個，并且在進口處能夠持續形成真空或負壓；排氣嘴處形成微正壓；工作介質主要為氣體，體積比較微型的一種泵體。微型真空泵可以分為有刷真空泵和無刷真空泵。
一、有刷微型真空泵
優點：有刷真空泵采用大力矩的有刷電機供電，過載能力和輸出流量都能做的比較高，國內有刷電機做的比較成熟，基本上國內的一些大廠家對于有刷電機這一塊的質量都能做到有所保證。并且有刷電機的成本也會比無刷電機的成本要低。
缺點：有刷微型真空泵要比無刷真空泵壽命要稍短一些。
二、無刷微型真空泵
優點：無刷微型真空泵中的無刷電機壽命比較長，壽命往往接近上萬小時(滿負荷下)；特別適合晝夜不停連續運轉的場合，比如做長期在線采樣氣泵使用；有的甚至可以連續運轉1年以上，如果是間斷使用，甚至可能到幾年。而且還有“調速”功能，即可以采用占空比調電機的轉速(PWM調速)，從而達到間接調泵流量目的，配合相應的控制電路，甚至可以實現恒壓、恒流、恒速等高級應用。
缺點：過載能力以及輸出流量都會比無刷的要??；成本也會比有刷微型真空泵要高上很多。
