1、工藝要求達到的真空度
微型真空泵的工作壓力應該滿足工藝工作壓力要求，選型時真空度要高于真空設備真空度的半個到一個數量級。(如：真空工藝要求100Pa的真空度，選用微型真空泵的真空度至少要50Pa-10Pa)。一般如果要求絕對壓強高于3300Pa，則優先選擇水環式微型真空泵作為真空裝置，如果絕對壓強要求低于3300Pa，則不能選擇水環式微型真空泵，選擇旋片式微型真空泵或更高真空級別的微型真空泵作為真空獲得裝置。
2、工藝要求的抽氣量(抽氣速率)
微型真空泵要求抽氣速率(也就是要求微型真空泵在其工作壓力下，排出氣體、液體，固體的能力)，一般單位：m3/h，L/S，m3/min。具體計算方法可以參考下面公式自行計算選型。當然，微型真空泵的選型是一個綜合過程，涉及到相關經驗等因素。
S=(V/t)×ln(P1/P2)
S為微型真空泵抽氣速率(L/s)
V為真空室容積(L)
t為達到要求真空度所需時間(s)
P1為初始壓強(Pa)
P2為要求壓強(Pa)
3、判定被抽物體的成分
被抽物體是氣體、液體還是顆粒。如果被抽氣體中含有水汽或少量顆粒性和粉塵等雜質，慎選旋片式微型真空泵，如果真空度要求較高，則應加過濾裝置加以過濾方能使用旋片式微型真空泵做真空獲得設備。
要知道被抽物體是否有腐蝕，若含有酸堿腐蝕或有機腐蝕等因素的氣體，應過濾或中和處理才能選旋片式微型真空泵。
被抽物體是否對橡膠或者油品有污染？針對不同的被抽介質要選用相應的真空設備，如果氣體中含有大量蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝相應的輔助設備，如冷凝器、過濾器等。
除了以上因素，噪聲、價格等其他因素要考慮在內。
