微型真空泵是薄膜（隔膜）泵的一種，分為水泵和氣泵兩類，人們常常稱為微型水泵、微型氣泵。用于采樣時還稱為采樣泵。它是使用電機、壓電等動力帶動薄膜高速振動來泵送流體。最常用的動力裝置是直流電機。泵腔的入口、出口分別安裝有單向閥，膜片向后運動時，泵腔體積增大，產生真空，在壓差作用下，進口閥打開，吸入流體；當膜片向前運動時，泵腔體積減小，腔內壓力升高，在壓差作用下，出口閥打開，排出流體，如此循環往復。微型薄膜泵的優點是效率高；運動機構與輸送介質完全隔離，對介質無污染；非動密封，無泄漏；可靠性好；體積小、重量輕；具有自吸能力；不怕空轉；無需潤滑保養；自身噪音低。微型真空泵作為水泵使用時，無需灌泵，啟動后立即吸水排水。它既能抽氣又能抽水，無水時不怕干轉。微型真空泵的優點尤其是小巧、無污染性、自吸性使它在環保、石油、石化、衛生、食品、醫藥、化工、科研等領域得到了廣泛運用。微型薄膜泵的主要缺點是輸送介質溫度受薄膜性能限制，一些薄膜泵不適于高粘度流體，出口壓力波動幅度大，有時需安裝緩沖設備或者對泵進行特殊設計。近年來技術領先的微型泵生產商在電機、隔膜材質上取得了突破性的進展，薄膜泵的使用在發達國家得到了很大發展，逐步占領了其它泵的一些領域。相信隨著技術的進步，薄膜泵在我國的運用必將日益廣泛。
微型薄膜泵是利用曲柄把電機的旋轉運動轉換為薄膜的振動，由于機構的原理，不可避免地存在壓力和流量的波動。在流量-時間曲線上，泵的瞬時流量以類似正弦曲線的波形變化。每分鐘泵的瞬時流量疊加后稱為平均流量。理論上的平均流量與泵腔和薄膜的大小、薄膜振幅、每分鐘電機轉速有關。實際使用中由于單向閥和其它部位可能存在泄漏、輸送的流體具有壓縮性、液體中溶解和蒸發的氣體都會使泵的實際平均流量低于理論平均流量。微型薄膜泵的流量-轉速曲線具有體積泵的特征，在外部阻力不變的情況下，流量基本與泵的轉速成正比。當微型薄膜泵的排水流量增大時，其揚程（出口壓力）會近似線性地下降。
在很多場合我們需要較為精確地調節微型真空泵的流量，常常采用以下兩種方法。
降低泵的工作電壓，常用于有刷電機。微型泵的電源首先要有穩壓功能，功率要足夠，保證在泵額定工況下電壓穩定。降低泵的輸入電壓后，電機轉速、流量也隨之降低，而且比較接近線性關系。泵降壓運行附帶的好處是有利于延緩電機電刷的磨損、延長電機的壽命。但是要特別注意降壓后泵能否正常運轉。如果泵入口處真空度較高、下游管路阻力較大、泵的負載較大時，降壓后容易造成電機無法啟動，使電機溫度上升，甚至燒毀，產生安全隱患。一般用降壓來調節流量只適合于負載不大的場合，小幅度地調節流量。微型真空泵額定的流量是在規定的上下游阻力條件下測得的。用戶的實際使用條件各不相同，需要經過試驗確定允許的降壓、調節流量范圍。如果用戶使用中，管路阻力、泵的負載經常變化，用降壓來調節流量容易出現電機工作乏力甚至無法運轉，不便于控制。
