真空系統設備有很多種，但無論哪種真空應用設備都有一套排氣系統來排除真空容器中的氣體，以便在真空容器中獲得必要的真空條件。例如，用于真空處理的容器通過管道和閥門連接到微型真空泵，當真空泵抽空容器時，容器上有真空測量裝置。
由兩個或多個串聯真空泵組成的真空系統通常稱為低真空泵，作為高真空泵的前級泵(或前級泵)，而最高真空泵稱為主泵。真空系統，也就是說，它是最重要的泵，泵送容器中的極限真空和工作真空是主要的。泵送容器出口和主泵入口之間的管道稱為高真空管道，主泵入口處的閥門稱為主閥。
通常，前泵也用作真空泵。泵送容器和預泵泵之間的管道稱為預真空管道，管道上的閥門稱為預真空管道閥門。主泵出口和前級泵入口之間的管道稱為前級管道。管道上的閥門稱為前級管道閥門，軟連接管道設置為隔離前級泵的振動。
總而言之，完整的真空系統包括以下組件：
抽水設備：例如，各種真空泵、真空閥、連接管道；
真空測量裝置，如真空計和各種調節器。
其他部件，如疏水閥，除塵器，真空接力頭，儲罐等。
