微型真空泵是指具備兩個氣嘴，一個抽氣一個排氣，并且在抽氣嘴處能夠持續形成真空或負壓，排氣嘴處形成微正壓，工作介質主要為氣體，體積小巧的一種精密儀器。
這里所說的真空，是指在給定的空間內，壓力值低于101325Pa，即低于一個標準大氣壓的氣體狀態。在真空狀態下，氣體的稀薄程度通常用氣體的壓力值來表示，該壓力值越小則表示氣體越稀薄。工業上有各種各樣的真空泵，對于各種泵的性能測試，一般通用的參數都含有以下幾個：
極限真空（通常稱為真空度）：將真空泵與檢測容器相連，放入待測的氣體后，進行長時間連續抽氣，當容器內的氣體壓力不再下降而維持某一定值時，此壓力稱為泵的極限真空。該值越小則表明越接近理論真空。
普通真空表測得的真空值（即：表壓）為相對真空度，用負數表示，是指被測氣體壓力與大氣壓的差值?？梢杂上聢D看出。
抽氣速率：在真空泵的吸氣口處，單位時間內流過的氣體體積。
傳統工業用真空泵體積普遍很大，而且泵的工作需要特殊的真空泵油和潤滑機油，介質氣體內會含有大量油霧。隨著儀器儀表工業的發展以及人們對環保的要求，各國的微型無油真空泵應運而生。不但如此，經過特殊的技術改進，除了單抽氣的微型真空泵外，還形成了抽氣打氣兩用的微型真空泵（即排氣端可以產生比較大的正壓），用于增壓、充氣、克服系統阻力等等，以及非常獨特的水氣兩用微型真空泵，這種可以用于需要長期空轉、干轉等場合，不像一般的水泵空轉或者干轉就會損壞泵，水氣兩用微型真空泵空轉、干轉都屬正常工作范疇。
微型無油真空泵的價格和真空度指標密切相關。真空度指標是各國生產商努力追求的主要指標，它反應了相應的機械加工、密封技術、材料科學等領域的整體實力，也是生產商獲取利潤的重要手段。要提高真空度指標，就必須有更高的密封條件，因此就需要采用尺寸更精確、材料性能更優異的零部件，于是生產成本就大幅度提高了。而且價格的增幅遠遠大于真空度指標的增幅。當然，抽氣速率的提高也會引起價格的攀升，但其增幅不大。因此，選擇微型真空泵時需要認真考慮真空度指標、抽氣速率指標、自己的使用情況等，這樣才能最好地兼顧使用性能和成本。
高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件，因此它對工作環境的清潔條件、溫度參數、介質成分等均有更高的要求。
微型真空泵抽氣口處或者抽排氣口可以與外界大氣形成壓力差，同時不像大型真空泵需要潤滑油和真空泵油，不會污染工作介質，而且體積小巧、噪音低、免維護，可以連續24小時運轉，所以微型真空泵被作為動力裝置，廣泛用于氣體采樣、氣體循環、真空吸附、加速過濾、汽車真空助力等等場合，在醫療、衛生、科研、環保等領域也都得到了廣泛的應用。
